• 상위 10개사 중 3위 세메스, 6위 삼성전자 등
• 한국 기업 4개사 포진

전 세계 반도체 자동이송체계 특허출원이 최근 10년 사이 연평균 10.2% 증가하고 있는 가운데, 한국은 연평균 32.1% 증가해 가장 빠르게 성장하고 있는 것으로 나타났다.

특허청이 주요국 특허청(IP5: 한국, 미국, 중국, 유럽연합, 일본)에 출원된 전 세계 특허를 분석한 결과, 2012년에 117건이었던 출원량이 10년 사이 연평균 10.2% 성장해 2021년에는 281건에 달했다. 출원인 국적별로 출원증가 속도를 살펴보면, 한국은 연평균 32.1%로 세계에서 가장 빨랐으며, 대만이 연평균 17.3%로 2위를 차지했고, 다음으로는 일본(6.2%), 중국(6.2%) 순이었다.

같은 기간 출원량을 살펴보면, 1위 일본이 1,238건(67.7%)으로 가장 많은 출원을 했으며, 2위 한국 398건(21.8%), 3위 대만 88건(4.8%), 4위 중국 46건(2.5%), 5위 미국 44건(2.4%)이 그 뒤를 이었다.

기술분야별로는 반도체 자동이송체계 중에서 천장이송장치(1,103건, 60.3%)와 스토커(587건, 32.1%)에 대한 출원이 전체 출원의 92.4%로 거의 대부분을 차지하고 있는 것으로 나타났다.

연평균 증가율은 천장이송장치는 21.1%인 반면 스토커는 –9.3%로, 천장이송장치 관련 출원이 빠르게 증가하고 있는 것으로 나타났다. 주요 출원인으로는 일본의 1위 다이후쿠(608건, 33.3%)가 최다 출원인으로 나타났으며, 일본의 2위 무라타 기계(586건, 32.1%), 한국의 3위 세메스(248건, 13.6%), 대만의 4위 티에스엠치(TSMC)(77건, 4.2%) 및 미국의 5위 브룩스 오토메이션(30건, 1.6%)이 뒤를 이었다.

이외에 한국 출원인으로는 6위 삼성전자(29건, 1.6%) 및 7위 시너스텍(26건, 1.4%), 8위 에스에프에이(19건, 1.0%) 등이 다출원인에 올랐다. 출원인 유형별 비중을 살펴보면, 전체적으로는 기업의 출원이 98.7%로 높게 나타났으며, 개인이 1.0%, 대학이 0.2%, 공공기관이 0.1%를 차지했다. 대규모 투자가 필요한 산업 특성상 기업에서 기술개발을 주도하고 있는 것으로 보인다.

특허청 김동국 반도체제조장비심사팀장은 “자동이송체계를 반도체 라인에 설치하기 위해서는 공정 체계와 생산 용량 등 제조 핵심정보를 장비 공급업체에 제공해야 하므로 경제적인 측면뿐 아니라 정보보안 측면에서도 국산화가 필요하다”면서 “우리 기업들이 혁신기술을 개발해 시장을 개척할 수 있도록 고품질의 심사뿐만 아니라 관련 특허정보를 지속적으로 제공해 나갈 것”이라고 말했다.